SAT (Scanning Acoustic Tomography) 는 반도체 재료 및 장치의 비파괴 테스트 및 평가를위한 반도체 산업에서 귀중한 도구입니다. 이 기술은 음파를 사용하여 내부 구조, 결함 및 재료 특성에 대한 고해상도 이미지를 생성하여 품질 관리, 프로세스 최적화 및 고장 분석에 중요한 정보를 제공합니다.
음향 단층 촬영 (SAT) 스캔초음파 펄스를 테스트중인 물질로 전송하고 에코가 되돌아가는 데 걸리는 시간을 측정하여 작동합니다. 이 데이터는 내부 구조의 3 차원 이미지를 구성하는 데 사용되어 분석가가 자료의 품질을 시각화하고 평가할 수 있습니다.
SAT를 수행하기 전에 반도체 샘플을 적절하게 준비하는 것이 필수적입니다. 여기에는 음파를 방해 할 수있는 오염 물질을 제거하기 위해 표면을 청소하고 샘플이 스캔을 위해 올바르게 배치되도록하는 것이 포함됩니다.
스캔하는 동안 샘플은 여러 방향으로 이동할 수있는 스테이지에 배치되어 초음파 변환기가 전체 표면을 스캔 할 수 있습니다. 변환기는 물질을 관통하고 내부 구조 및 결함에 의해 다시 반사되는 초음파를 방출합니다. 반사된 파들은 변환기에 의해 검출되고 내부 구조의 이미지를 생성하는데 사용된다.
일단 스캔이 완료되면, 데이터는 특수 소프트웨어를 사용하여 처리되어 내부 구조의 상세한 이미지를 재구성한다. 이 이미지는 밀도 및 탄성과 같은 재료 특성에 대한 정보를 제공 할뿐만 아니라 공극, 균열 및 박리 결함과 같은 결함을 나타낼 수 있습니다.
반도체 산업에서 SAT를 사용하는 마지막 단계는 생성 된 이미지를 분석하고 해석하는 것입니다. 이는 결함 식별 및 정량화, 재료 특성 평가, 및 샘플의 품질 및 특성에 대한 포괄적 인 이해를 얻기 위해 결과를 다른 테스트 결과와 연관시키는 것을 포함 할 수 있습니다.
결론적으로, Scanning Acoustic Tomography는 반도체 산업에서 비파괴 테스트를위한 강력한 도구로서 반도체 재료 및 장치의 내부 구조 및 특성에 대한 귀중한 통찰력을 제공합니다. SAT는 샘플 준비, 스캔 및 이미지 분석을위한 적절한 절차를 수행함으로써 반도체 제조업체가 제품 품질을 개선하고 제조 프로세스를 최적화하며 결함 및 고장의 위험을 줄일 수 있습니다.
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